¢ß±â°¡·¹ÀÎÀº °³ÀÎ ÈÞ´ë Åë½ÅÁ¦Ç°ÀÇ ¼ÒÇüÈ °æÇâ¿¡ ÀûÇÕÇϵµ·Ï »çÀÌÁî°¡ ÀÛÀ¸¸ç, ½ÅÈ£Àü´Þ ¼Õ½ÇÀÌ ÀûÀº ¼ÒÇü Ä¿³ØÅÍ Á¦Ç°À» º¸À¯ Çϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ½ÇÁ¦ÀÇ À̵¿ ȯ°æº¸´Ù °¡È¤ÇÑ ¿©·¯ °¡Áö ȯ°æ ½ÃÇèÀ» ÅëÇØ ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» º¸ÀåÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷ ÃʼÒÇüȵǰí ÀÖ´Â ¸ð¹ÙÀÏ ÆùÀ̳ª ³×ºñ°ÔÀ̼ǰú °°Àº Á¦Ç°ÀÇ Çù¼ÒÇÑ °ø°£³»ºÎÀÇ ½ÅÈ£Àü´ÞÀ» À§ÇÑ ¼ÒÇü µ¿ÃàÄÉÀÌºí ¾î¼Àºí¸® Á¦Ç°(CMP) ±â¼úÀ» ±¹»êÈ Çϰí, RF ¼º´É ¹× ¾ç»ê ǰÁú ¾ÈÁ¤È¸¦ ¼º°øÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ³»/¿ÜÀå ¾ÈÅ׳ªÀÇ ¿¬°á»óŸ¦ ±â°èÀûÀ¸·Î º¯È¯ÇÏ´Â RF S/W ÀÇ °æ¿ì ³ôÀº ½Å·Ú¼ºÀ» °¡Áö¸ç, ¾ÈÅ׳ªÀÇ ½ÅÈ£¼Õ½ÇÀ» ÃÖ¼ÒÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
|
|